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武汉4英寸探针台出售
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商品信息

 4英寸探针台是专为4英寸晶圆测试设计的手动或半自动设备，在半导体、材料及器件研发领域应用广泛。

 
一、核心功能
测试能力：可执行IV/CV测试、RF测试、光电测试等，适用于晶圆、芯片、LED、场效应晶体管、IGBT、分立器件等样品的电学性能评估。
温度控制：测试温度范围覆盖室温至300℃，支持高温和低温环境下的晶圆温度特性测试，满足极端工况下的材料与器件研究需求。
定位精度：通过高精密导轨实现2μm移动精度，样品台可360度旋转并支持±10度微调，确保探针与样品接触的精准度。
真空与气氛控制：可选配真空护罩防止露水凝结，或通过惰性气体/还原性气体环境控制，适配不同测试场景对氧化防护的需求。
二、技术参数
样品台：
尺寸：适配4英寸晶圆，材质可选不锈钢、铝合金、黄铜镀金或绝缘材料。
固定方式：真空吸附，支持三个独立开关控制。
移动范围：XY轴行程105mm×105mm，Z轴升降10mm。
旋转与接地：360度旋转，±10度微调；样品台对地绝缘，可做背电极使用，也可选接地配置。
显微系统：
类型：单筒显微镜、体视显微镜或单筒金相显微镜，倍率范围18X-220X（搭配11.6寸显示器）。
调焦范围：50.8mm，支持360度旋转与显示器支架集成。
成像系统：配备2K或4K相机，帧率60fps，支持拍照、录像及测量功能。
探针系统：
探针座：X-Y-Z行程12mm×12mm×12mm，移动精度0.5μm-5μm，材质为含磁不锈钢并表面电镀防锈。
探针夹具：兼容同轴线缆、三轴线缆，漏电精度达100fA（三轴夹具）或10pA（同轴夹具）。
探针接口：支持三轴接头、同轴接头、香蕉头、鳄鱼夹、裸线接口、SMA及射频接头等。
探针规格：材质为钨钢或铍铜，针尖半径覆盖0.2μm至100μm，适配不同测试需求。
三、选型要点
测试类型与精度：
根据测试需求选择显微镜倍率（如光电测试需高倍率金相显微镜）及探针移动精度（高频测试需0.5μm级精度）。
确认探针夹具与接口类型是否匹配测试仪器（如射频测试需SMA或射频接头）。
环境控制需求：
高温测试需关注样品台材质耐温性及加热均匀性；真空测试需确认极限真空度（如10⁻⁶ torr）及漏率。
气氛控制需支持惰性气体或还原性气体切换，并具备流量控制精度（如±0.1sccm）。
扩展性与兼容性：
优先选择模块化设计设备，支持探针座、显微镜、屏蔽箱等升级，适配未来测试需求。
确认设备是否兼容源表、半导体参数分析仪、网络分析仪等常用仪器。
操作与维护：
评估设备自动化程度（如自动扫描、首点对准功能）对测试效率的影响。
关注设备维护成本，如真空泵寿命、探针更换周期及厂家技术支持能力。

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供应商档案

武汉理化仪器有限公司
会员类型： 星级
所在地区： 不限
企业认证： 认证商家
主营产品： 高温烘房，高温烘箱，高温老化房，步入式恒温房 新能源老化柜 展开全部
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