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武汉真空闭循环高低温探针台
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商品信息

 真空闭循环高低温探针台是一种集成真空环境、闭循环温控及精密探针测试功能的高端设备，广泛应用于半导体、材料科学及量子技术领域。

 
一、核心功能与技术特性
真空闭循环系统
真空度：系统极限真空优于5×10⁻⁶Pa，漏率≤1×10⁻¹⁰Pa·m³/s，有效隔绝空气、水汽等干扰因素，避免测试过程中氧化、漏电等问题。
闭循环温控：采用液氮制冷（****至4K）与电阻加热（****至870K）技术，支持150K至870K宽温区稳定运行，温度波动≤±0.5mK，确保测试数据一致性。
高精度探针测试系统
探针臂设计：外置多探针臂（如6探针臂接口），X-Y-Z三方向移动行程25.4mm，定位精度达10μm，支持探针****直径0.5μm至20μm的微纳操作。
信号兼容性：兼容IV/CV/RF测试，支持DC至67GHz频段，配备BNC/三轴/SMA等接口，满足高频、高精度信号传输需求。
光学显微与成像系统
显微镜：放大倍数15X至400X，工作距离70-100mm，配备LED环形光源（亮度无级可调），支持实时观察探针与样品交互过程。
工业相机：500万像素，分辨率2μm，可实现图像显示、拍摄及录像功能，辅助定位与分析。
二、典型应用场景
半导体器件测试
硅光子芯片：在真空环境下模拟-40℃至150℃全温区工作条件，测试光电器件的电光转换效率、热稳定性及可靠性。
量子芯片：在4K极低温下测试量子比特的相干时间（T1/T2）与门操作保真度，评估量子计算芯片的性能。
材料科学研究
超导材料：在77K至室温范围内测量超导转变温度（Tc）、临界电流密度（Jc）及磁通钉扎特性，优化超导材料制备工艺。
二维材料：评估石墨烯、MoS₂等材料在真空环境下的载流子迁移率、光电响应及界面特性，推动柔性电子器件研发。
失效分析与可靠性验证
功率半导体：在300℃高温下测试SiC MOSFET的动态导通电阻、雪崩能量及栅氧可靠性，验证器件在极端环境下的长期稳定性。
封装器件：通过霍尔测试分析封装材料对载流子传输的影响，优化封装工艺，提升器件电学性能。
三、选型与使用建议
核心参数匹配
温度范围：根据测试需求选择，如量子计算需支持4K，功率半导体需覆盖300℃以上高温。
真空度：超导材料测试需极限真空优于1×10⁻⁶Pa，常规半导体测试5×10⁻⁵Pa即可满足需求。
探针精度：纳米器件测试需探针****直径≤1μm，定位精度≤5μm；高频测试需支持67GHz频段。
系统扩展性
接口兼容性：确认设备是否支持BNC、三轴、SMA等多种接口，适配不同测试仪器。
模块化设计：优先选择支持探针臂、探针夹具、显微镜等模块独立升级的设备，降低长期使用成本。
操作与维护要点
真空维护：定期检查真空泵油位及密封圈状态，测试后用分子泵抽真空至1×10⁻⁴Pa以下，防止氧化。
温度校准：每季度使用标准温度计校准样品台温度，误差需控制在±0.2℃以内。
探针更换：探针磨损或氧化后需及时更换，避免接触电阻增大影响测试精度。
 
技术参数：
高真空度，真空度：5×10-5 Pa
高精度温控系统，自动冷媒流量控制，4 K -325  K 或10K到400K温度，温度区间内**控制样品台温度
防辐射屏设计，保证样品温度均匀
兼容高倍显微镜
采用氦气压缩机制冷
陶瓷刀片探针，更低的漏电精度
可加载磁场，可加高频，可集成高压，光纤等等测试
 

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供应商档案

武汉理化仪器有限公司
会员类型： 星级
所在地区： 不限
企业认证： 认证商家
主营产品： 高温烘房，高温烘箱，高温老化房，步入式恒温房 新能源老化柜 展开全部
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