常规探针台是半导体及微纳器件测试的基础设备，通过机械定位系统将探针与样品表面精确接触，实现电学参数（如电流、电压、电容）的微区测量。其核心价值在于非破坏性、快速表征，广泛应用于晶圆级测试、器件失效分析、材料电学性能评估等场景。

二、技术架构与关键模块

机械定位系统

三维位移平台：采用交叉滚子导轨+微分头/步进电机驱动，定位精度通常为1-10μm，满足微米级器件测试需求。

探针卡组件：支持单探针（点接触）或多探针（阵列接触）配置，探针材质包括钨、铍铜、金刚石镀层等，接触力范围0.01-10N可调。

光学观测模块

体式显微镜：放大倍数10X-200X，用于粗定位与探针-样品接触状态观察。

CCD成像系统：分辨率1-5MP，支持实时图像传输与测量标记，提升操作精度。

电学测试接口

源表（SMU）集成：支持四线法测量，最小电流分辨率10fA，电压范围±210V，满足低功耗器件（如IoT芯片）与高压器件（如功率MOSFET）测试需求。

信号屏蔽设计：采用金属屏蔽箱+三同轴电缆，降低50Hz工频干扰与电磁辐射噪声，信噪比优于80dB。

选型建议：

研发实验室：优先选择支持多环境（真空、变温）的模块化探针台，便于后续功能扩展。

量产测试线：推荐全自动探针台+MES系统集成，实现测试数据实时上传与良率统计分析。

高校教学：经济型手动探针台+开源测试软件（如LabVIEW）组合，兼顾成本与教学灵活性。

技术参数

台体

Chuck尺寸：8英寸  12英寸

快速抽拉：行程-110mm  行程-150mm

水平旋转：可360度旋转，可微调15度，精度0.1度，带角度锁死装置

X-Y气浮移动：可360℃气浮移动，便于快速定位样品

X-Y移动行程：8英寸*8英寸  12英寸*12英寸  

X-Y移动精度：1um/2um

样品固定：真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附环

针座平台：最多可放置8个探针座或12个探针座

平台升降：可快速升降6mm/可微调升降25mm

背电极测试：样品台电学独立悬空，4mm插孔可接背电极

显微镜

显微镜类型：单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜

放大倍率：16X-100X/20X-4000X

移动行程：X-Y轴行程2英寸*2英寸，Z轴行程50.8mm（Z轴可选气动升降，全球快速进行物镜切换）

光源：外置LED环形光源/同轴光源

CCD:200万像素/500万像素/1200万像素

探针座

X-Y-Z移动行程：12mm*12mm*12mm

移动精度：10um/2um/0.7um/0.5um/0.35um

吸附方式：磁力吸附/真空吸附

DC调节点测角度：0-30℃

RF调节角度：多点控头调水平旋钮，可以+-10℃调节，精度0.1度

探针夹具

线缆：同轴线/三轴线/射频线/开尔文线

漏电精度：10pA/100fA/10fA

固定探针：弹簧固定/管状固定

接头类型：BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子/射频接口

DC针尖直径：0.2um/lum/2um/5um/10um/20um/50um/100um

RF探针频率：40GHz/50GHz/67GHz/110GHz

材质：钨钢/铍铜/镀镍

外形：900mm*700mm*900mm  /950mm长 *700mm宽*700mm高

重量：约150千克/180千克

可选附件（根据客户要求定制）

加热台

显示器

转接头

射频测试配件

屏蔽箱

防震桌

镀金卡盘

光电测试配件