双面探针台是一种用于半导体、光电等领域的精密测试设备,主要有以下作用和意义:
作用
实现双面测试:能从被测器件的顶部和底部同时进行探测,满足一些特殊结构器件或测试场景的需求。例如,对于具有背接触结构的芯片、晶圆,或者需要在器件两面施加不同信号进行测试的情况,双面探针台可以通过顶部和底部的探针分别建立电气连接,实现对器件全面的性能测试。
提高测试精度:配备高精度的定位系统和探针控制机构,可确保探针与器件两面的电极或测试点精确对准和稳定接触,从而提高电学参数测试的精度和重复性。一些先进的双面探针台定位精度可达微米甚至亚微米级别,能满足微小尺寸器件的测试要求。
支持多种测试功能:可集成多种测试功能,如直流参数测试、射频测试、高低温环境测试等。通过更换不同类型的探针座和测试仪器,能够对器件在不同条件下的性能进行全面评估。例如,在进行射频测试时,双面探针台可以提供良好的信号传输和屏蔽性能,确保测试结果的准确性。
便于失效分析:在失效分析中,双面探针台具有独特优势。例如,在研究晶圆上芯片的失效问题时,它可以一面接触芯片的正面进行常规测试,另一面通过红外相机或其他成像设备进行观察,帮助快速定位失效位置,确定失效原因。
样品台尺寸:8寸不锈钢卡盘,样品台电学独立悬空,可接背电极
样品固定方式:真空吸附,配置4个真空开关
气动升降平台,可双面点针,落下可作单面探针台试用
垂直/水平双显微镜结构
样品台X-Y微调:200*200mm,精度5微米
样品台X-Y粗调:气动控制,可调节样品台在XY平面内自由移动
样品台Z轴行程:12mm,微调升降精度5微米
样品台旋转:可360°旋转,粗调快速旋转带锁死
显微镜X-Y轴行程:50*50mm
显微镜升降:气缸自动控制,配套独立控制开关
针座平台微调升降:行程10mm,精度0.1mm
尺寸:680*750*780mm
重量:约180千克
可满足I-V/C-V,PIV测试,光电测试,射频测试等
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