低温等离子净化器采用低温等离子体分解油雾、废气等污染介质时，等离子体中的高能离子起决定性的作用。流星雨壮的高能离子与介质内分子（原理）发生非弹性碰撞，将能量转化成基态分子（原子）的内能，发生激发、离解、电离等一系列过程使污染介质处于活化状态。污染节制在等离子体的作用下‘产生活性自由基’活化后的污染物分子经过等离子体定向连化学反应后被脱除。当离子平均能量超过污染介质中化学键结合能时，分子键断裂，污染介质分解，并在等离子发生器吸附场的作用下被收集。在低温等离子体中，可能发生各类的化学反应，这主要取决于等离子的平均能量、离子密度、气体温度、污染物介质内分子浓度及共存的介质成分。
初级电子在电场中获得加速，撞击空气中的氧分子。当能量超过氧分子的电离电位时氧分子由于另一中性分子结合变成负极性氧离子（02-），结果是氧离子的两极分化并吸附中性氧分子形成02+、02-、02等氧聚集的离子群，具有极强的氧化性，科在很短的时间内将污染空气中的有害成分氧化分解为无害的产物和水。
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