千级洁净室真空吸尘系统过滤原理
粉尘通过吸入口捕集进入集尘器后，含尘空气从集尘器的进风均流装置进入过滤室，首先碰到进风口中间的扰流板，由于气流断面突然扩大及在扰流板的作用下，气流中一部分粗大颗粒直接沉降至灰斗；粒度细、密度小的尘粒则在气流通过滤筒时被过滤效果高达99%的滤筒过滤，截留在滤筒表面，并被脉冲反吹结构反吹落入灰斗内，净化后的气体进入净气室由集尘器上侧风机室的排风口重新排放到车间里。
脉冲反吹系统的组成由气缸、电磁脉冲阀、脉冲反吹控制仪、压缩空气组成。
脉冲阀的一端连接压缩空气储气缸，另一端连接电磁脉冲阀。排气阀由脉冲反吹控制仪控制。当脉冲反吹控制仪无信号发出时，排气阀的活动挡板处于封闭排气孔的位置；当程序控制仪发出信号时，活动挡板打开，储气缸的压缩空气迅速泄压，于是排气阀内部的波纹膜被压向相反方向，喷气口打开，压缩空气经脉冲阀进入滤筒进行喷吹清灰。当信号消失后活动挡板恢复至原来封闭排气阀的位置，波纹膜重新封闭喷气口，喷吹自动停止。
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