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传统超纯水制取设备工艺流程：原水—多介质过滤器—活性炭过滤器—一级除盐—混床—超纯水
膜法超纯水制取设备工艺流程：原水—超滤—反渗透—EDI—超纯水 在膜法工艺中，超滤，微滤替代澄清，石英砂过滤器，活性炭过滤器，除去水中的悬浮物胶体和有机物，降低浊度，SDI，COD等，可以实现反渗透装置对污水回用的安全，运行，以反渗透替代离子交换器脱盐，进一步除去有机物，胶体，细菌等杂志，可以保证反渗透出水满足EDI进水的要求，以EDI代替混床深度脱盐，利用电而不是酸碱对树脂再生，避免了二次污染。 利用超滤，反渗透，EDI等膜元件组合集成的膜法工艺，构成了没有酸碱的脱盐系统，其中超滤系统作为预处理，实现了反渗透系统的，安全运行，使用高脱盐率反渗透膜处理，反渗透产水水质满足EDI的进水标准。EDI膜元件的模块化设计，可方便使组合任意产水规模，避免酸碱，缩小占地空间，适用各种用途的脱盐系统，使水处理技术的发展上升到了新的高度。
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