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超纯水设备系统主要采用全自动反渗透+电去离子（EDI）+抛光混床超纯水处理技术，前置预处理加反渗透处理，有效去除水中各种盐份及杂质，然后运用CEDI及抛光混床系统，进一步提升水质，使出水达到用水工艺要求。
1. 水进入纯化系统，主要部分流入树脂 / 膜内部，而另一部分沿模板外侧流动，以洗去透出膜外的离子。 2. 树脂截留水中的溶存离子。 3. 被截留的离子在电极作用下，阴离子向正极方向运动，阳离子向负极方向运动。 4. 阳离子透过阳离子膜，排出树脂 / 膜之外。 5. 阴离子透过阴离子膜，排出树脂 / 膜之外。 6. 浓缩了的离子从废水流路中排出。 7. 去离子水从树脂 / 膜内流出。
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