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电容式測试原理，其传感器是利用一片高纯铝片，通过氧化的方式，在其表面能形成一层超薄的氧化铝葞膜，然后再在氧化葞膜外镀一层多孔的网状金膜，这样，金膜与高纯铝片之间就形成一个电容器。在实际测试过程中，由于氧化铝薄膜的吸水特性而将样气中的水份吸收，并导致氧化铝葞膜的电导率发生变化，从而改变了电容器的电容值，通过测试电容值的方式来得到样气的温湿度。
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