真空除水的效果主要与工作真空度和油液温度有关。真空度越低，温度越高，除水效果越好。油温一般为60℃左右，温度过高将加速油液的氧化。对于液压油，真空度一般在600～700Pa，可使油中的含水量降至100ppm以下。对于变压器绝缘油，可采用更高的真空度，含水量可降到10ppm。
真空脱水能够有效去除油液中各种状态的水，并能去除油液中的空气和各种挥发性物质。
清除水油中的游离水和溶解水通过降低润滑性、氧化和形成酸而使油液变质，不含水的油液即使曝露于高温也不容易氧化和形成有机酸。有机酸化合物的存在导致腐蚀。水加快油液的热降解而生成颗粒或含碳物质。水的存在还引起油液聚合而形成大分子。聚合作用造成粘度改变，生成就堵塞节流孔和使系统元件磨损而言有害的固体。ZLYC高效真空滤油机能够清除100％的游离水和95％以上的溶解水。
LYC-Z系列真空脱水滤油机能够清除100％的游离空气和多达75％的溶解空气，空气在油液通过真空罐时被清除。其他气体视循环时间被减少到微量。
清除固体颗粒为了清除悬浮的颗粒性物质，ZYC-Z系列真空脱水滤油机通过三级过滤能够滤除引起轴承、泵和阀中的磨粒磨损的颗粒。它还清除可能聚积在阀芯与阀套之间的间隙中并引起电液伺服阀中的卡紧和不稳定性的淤泥。在绝缘油中，此过滤水平可防止由带电颗粒的搭桥作用引起的电气击穿。
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