华翼H5050型高纯气体分析仪,配备了增强型等离子体检测器(Enhanced Plasma Detector,EPD)。EPD的原理是在检测器的石英小池周围加以高频、高强度的电磁场,在高频、高强电磁场的作用下载气和杂质气体被电离为等离子体,等离子体具有较高的能量,当样品进入检测器的石英小池之后,被等离子体电离并发出不同波长的光,经相应的滤光片及光电二极管后转换为电信号,因此,相比于痕量分析中常用的PDHID检测器,EPD选择性更好,灵敏度更高,另外,EPD可以选择氩气等相对低成本的载气种类,维护成本低于PDHID。
EPD提供了更好的信噪比以及更高的电离效率,是现有等离子体发射检测器(Plasma Emission Detector,PED)的升级换代版本****的优势在于其聚焦/稳定和电子注入电极专利技术,以及高度稳定的频率控制系统。目前其他商品化PED存在的主要缺陷是稳定性差,表现在三个方面:一是等离子体在常压下的不稳定性;二是等离子体石英池内表面的电荷聚集效应;最严重的是石英池内表面、尤其是放电电极附近的位置,受长时间溅射效应的影响,会逐渐粗糙化,导致色谱峰的拖尾/展宽,进而灵敏度减低,而EPD所采用的独特技术在****程度上避免了上述缺陷。
专利的聚焦/稳定技术
PED(现有等离子技术)和EPD基线噪音的对比
杂质种类 | H2 | O2 | N2 | CH4 | CO | CO2 | |
检测限(ppb) |
氦载气 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 |
氩载气 | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 |
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