（1）吸附过程：由于固体表面上存在着未平衡和未饱和的分子引力或化学键力，当此固体表面与气体接触时，就能吸引气体分子，使其浓聚并保持在固体表面，此现象称为吸附。利用固体表面的吸附能力，使废气与大表面的多孔性固体物质相接触，废气中的污染物被吸附在固体表面上，使其与气体混合物分离，达到净化目的。其实质是一个吸附浓缩的过程。
（2）脱附+催化燃烧：活性炭接近饱和后，对活性炭进行脱附再生（热空气脱附），脱附产生高浓度有机废气进行催化燃烧使得废气得到彻底净化。根据废气性质和回用价值性，也可使用蒸汽脱附，再经过冷凝器冷凝成液体然后分离，分离回收有机溶剂。
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