HXMF05系列气体质量流量计产品描述：

北京华旭世纪HXMF05系列气体质量流量计/控制器，采用了数字式技术，相比模拟技术，HXMF05系列产品提高了精度和数字化程度。它采用了毛细管热传感技术和热温差原理，来测量和控制气体的质量流量。由于热温差只和气体的质量流量有关，因此其测量值不受气体的温度和压力变化的影响。

HXMF05系列小流量热式质量流量产品，采用了紧凑型设计，体积小巧精致，产品坚固耐用。产品使用了线性化校正电路和EMI保护，具备安全可靠、性能稳定、低功耗、寿命长等特点。

在数据传输上，不但具备传统的有线式，还具备局域网无线传输数据，互联网远程数据监控云平台等强大功能。

HXMF05系列气体质量流量计产品特色：

● 数字化技术，更快速的响应时间

● 优于1%FS的高精度

● 出色的长期稳定性

● 可测量腐蚀性气体，坚固耐用

● 精巧的外观设计，全面的安全保护电路及EMI

● 可配专用显示表，显示瞬时流量

● 诸多选项：高精度、自定义量程、流量信号无线传输

远程数据监控云平台、短信报警、邮件报警等

典型应用：

光伏及晶体制备   · 真空行业及镀膜   · 泄漏检测

炉窑及微反应装置   · 半导体行业   · 大学/研究所

分析仪器   · 气体混合配比   · 计量及计价

燃料电池   · 燃烧测试   · 其它气体测控场合

性能指标：

介质要求：与介质兼容的气体，支持腐蚀性气体

介质种类：客户指定，也可现场更改-需咨询我们

标定工况：0℃ @ 1 atm（氮气）

测控量程：从0～5sccm到0～250slm任选,可定制更高流量范围

量程比：50:1

精度：±0.35%F.S.或±1.0%RD，取数值大者（FS-满量程 RD-读数）

重复性：±0.2%F.S.

流量分辨率：0.1%F.S.

响应时间：1.5S

阀门状态：常闭（仅控制器，流量计无阀门）

工作温度：5～45℃

工作湿度：0～100%RH（无冷凝）

工作压差范围：流量计 0.02MPa～3MPa

控制器 0.1～0.5MPa(>10SLM为0.1～0.3MPa)

****耐压：3MPa，可选高压选项10MPa

输入输出信号：标准为RS485，可选0～5V

通讯协议：Modbus

供电电压：24VDC@250mA

电气接口：DB15pin，2XRJ45

泄漏率：≤1×10-10次方Pa·立方米 /S（He）

接液材质：316L SS

密封材料：根据气体种类由厂家选择或客户指定，包括：PTF、氟橡胶FKM、全氟橡胶FFKM、NBR、EPDM、CR、VMQ，等

管道接头：1/4〃VCR，1/8、1/4、3/8双卡套，3、6、8、10mm双卡套

外形尺寸：长×宽×高：127×30×128.5mm

产品重量：流量计0.75kg

 控制器0.9kg