热式气体质量流量计（MFM）时一种精确测量气体流量的仪表，其测量值不因温度或压力的波动而失准，不需要温度压力补偿。热式气体质量流量控制器（MFM）不但具有质量流量计的功能，更重要的时他能自动控制气体流量，即用户可以根据需要进行流量设定，MFC自动的将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值，简单地说，质量流量控制器就是一个稳流装置，是一个可以手动设定或与计算机连接自动控制的气体稳流装置。
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