在我们生活周边半导体应用非常广泛，我们平时使用的收音机、电视机、太阳能、光电池以及在航天*事上都能应用到，但半导体分立器件或集成电路的制造过程中会产生多种特殊气体，大量的酸、碱等化学品以及有机溶剂和挥发性液体等，这些气体和化学品在半导体制造的不同工艺中使用，产生的废气通过排风系统收集并处理，如果没有经过很好的处理就进行排放的话，不仅影响人的身体健康还恶化大气环境。

　　挥发性有机物(VOCs)指常压下能够以气态形式排放到空气中的有机化合物，按其化学结构分别为：烷类、芳烃类、酯类、醛类等。常见的有机物如：苯、甲苯、二甲苯、苯乙烯、氯甲烷等。挥发性有机物(VOCs)进入大气后不断积存，形成颗粒物、有机气溶胶，至畸、致癌，危害动植物生长，持久影响生态环境。

　　挥发性有机物(VOCs)排放量大、浓度低、成分复杂，常见有机废气治理方法如：焚烧、吸附、冷凝、生物膜法、低温等离子、光催化氧化等，单独运用或无法达成经济高效运行，或不能满足严苛的排放标准。

　　焚烧法(RTO)：能耗大、运行成本高，适合处理高浓度、小风量有机废气。

　　吸附法(活性炭)：投资小、工艺简单，易饱和，必须与脱附、冷凝、焚烧等方法联用才能满足排放要求。

　　冷凝法：与吸收、吸附等方法联用，将有机废气吸附浓缩后冷凝、分离，回收其中有价值的有机物。此法适用浓度高、风量小的有机废气处理场合。缺点是：投资、能耗、运行费用高，冷凝回收物提纯处理后，仍有相当部分液态废弃物需要进一步处理。该方案与生产设备、生产工艺存在匹配关系，偏离这种匹配关系将提高治理成本，影响治理效果。

　　沸石转轮浓缩+焚烧法：沸石转轮浓缩设备基本依靠进口，自主产品尚不成熟。该方案同样与生产设备、生产工艺存在匹配关系。

　　低温等离子、光催化氧化法：挥发性有机物处理效率低，只能作为辅助性的治理手段。

　　南京永研环保科技公司首先提出“高温等离子焚烧”概念(发明专利)，是****掌握该技术并实际应用的企业(世界范围)。为有机废气治理开辟了一条全新的途径。

　　高温等离子焚烧技术是高频(30KHz)高压(100KV)大功率电源在特定条件下的聚能放电，产生3千℃等离子态高温气流。

　　有机废气在反应器中经过压缩、高压聚能放电成为高温等离子体。反应器压力增高，气体体积急剧膨胀，在高温、高电势的双重作用下，有机废气瞬间(万分之5秒)成为高温等离子体，其中长分子链裂解成单质原子，有机物清除率大于98%。

　　高温等离子焚烧装置无需浓缩，便可直接处理低浓度、大风量有机废气。每处理1万立方米/小时有机废气，仅消耗10kW电力。

　　从资金投入和营运成本考量，高温等离子焚烧方案要优于浓缩吸附+RTO焚烧方案。

　　工艺流程示意图：

　　高温等离子焚烧”技术优势：

　　模块化设计，配置灵活，经济高效，可处理从几百立方到几十万立方不同浓度、流量的有机废气。

　　无需预热，即开即用。

　　能效比高，高温等离设备废气排放口温度，比进气口温度仅提高几十度。能够处理高浓度、成分复杂、易燃易爆及含有水分、固态、油状物的工业废气，实现达标排放。

　　风阻小，能耗低，不消耗天然气，无碳排放问题。没有阀门等运动部件，能够无故障，不间断运行上万小时。

　　苯并芘、二恶英等难以处理的物质，瞬间分解，实现达标排放。(是垃圾焚烧尾气排放二恶英问题的理想解决方案)

　　天燃气焚烧法因其工作机理及自身结构上的缺陷，在易燃易爆场所，或处理废气中含有可燃成分时需要考虑防爆问题。

　　高温等离子焚烧技术是一个划时代的技术变革。