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半导体废气净化处理设备

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商品信息

   在我们生活周边半导体应用非常广泛,我们平时使用的收音机、电视机、太阳能、光电池以及在航天*事上都能应用到,但半导体分立器件或集成电路的制造过程中会产生多种特殊气体,大量的酸、碱等化学品以及有机溶剂和挥发性液体等,这些气体和化学品在半导体制造的不同工艺中使用,产生的废气通过排风系统收集并处理,如果没有经过很好的处理就进行排放的话,不仅影响人的身体健康还恶化大气环境。

 

  挥发性有机物(VOCs)指常压下能够以气态形式排放到空气中的有机化合物,按其化学结构分别为:烷类、芳烃类、酯类、醛类等。常见的有机物如:苯、甲苯、二甲苯、苯乙烯、氯甲烷等。挥发性有机物(VOCs)进入大气后不断积存,形成颗粒物、有机气溶胶,至畸、致癌,危害动植物生长,持久影响生态环境。

  挥发性有机物(VOCs)排放量大、浓度低、成分复杂,常见有机废气治理方法如:焚烧、吸附、冷凝、生物膜法、低温等离子、光催化氧化等,单独运用或无法达成经济高效运行,或不能满足严苛的排放标准。

  焚烧法(RTO):能耗大、运行成本高,适合处理高浓度、小风量有机废气。

  吸附法(活性炭):投资小、工艺简单,易饱和,必须与脱附、冷凝、焚烧等方法联用才能满足排放要求。

  冷凝法:与吸收、吸附等方法联用,将有机废气吸附浓缩后冷凝、分离,回收其中有价值的有机物。此法适用浓度高、风量小的有机废气处理场合。缺点是:投资、能耗、运行费用高,冷凝回收物提纯处理后,仍有相当部分液态废弃物需要进一步处理。该方案与生产设备、生产工艺存在匹配关系,偏离这种匹配关系将提高治理成本,影响治理效果。

  沸石转轮浓缩+焚烧法:沸石转轮浓缩设备基本依靠进口,自主产品尚不成熟。该方案同样与生产设备、生产工艺存在匹配关系。

  低温等离子、光催化氧化法:挥发性有机物处理效率低,只能作为辅助性的治理手段。

  南京永研环保科技公司首先提出“高温等离子焚烧”概念(发明专利),是****掌握该技术并实际应用的企业(世界范围)。为有机废气治理开辟了一条全新的途径。

  高温等离子焚烧技术是高频(30KHz)高压(100KV)大功率电源在特定条件下的聚能放电,产生3千℃等离子态高温气流。

  有机废气在反应器中经过压缩、高压聚能放电成为高温等离子体。反应器压力增高,气体体积急剧膨胀,在高温、高电势的双重作用下,有机废气瞬间(万分之5秒)成为高温等离子体,其中长分子链裂解成单质原子,有机物清除率大于98%。

  高温等离子焚烧装置无需浓缩,便可直接处理低浓度、大风量有机废气。每处理1万立方米/小时有机废气,仅消耗10kW电力。

  从资金投入和营运成本考量,高温等离子焚烧方案要优于浓缩吸附+RTO焚烧方案。

  工艺流程示意图:

  高温等离子焚烧”技术优势:

  模块化设计,配置灵活,经济高效,可处理从几百立方到几十万立方不同浓度、流量的有机废气。

  无需预热,即开即用。

  能效比高,高温等离设备废气排放口温度,比进气口温度仅提高几十度。能够处理高浓度、成分复杂、易燃易爆及含有水分、固态、油状物的工业废气,实现达标排放。

  风阻小,能耗低,不消耗天然气,无碳排放问题。没有阀门等运动部件,能够无故障,不间断运行上万小时。

  苯并芘、二恶英等难以处理的物质,瞬间分解,实现达标排放。(是垃圾焚烧尾气排放二恶英问题的理想解决方案)

  天燃气焚烧法因其工作机理及自身结构上的缺陷,在易燃易爆场所,或处理废气中含有可燃成分时需要考虑防爆问题。

  高温等离子焚烧技术是一个划时代的技术变革。

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供应商档案

南京永研环保科技有限责任公司
会员类型: 星级
所在地区: 江苏
企业认证: 认证商家
主营产品: 废气环保设备,高温等离子焚烧技术,臭氧发生器,废气处理,水处理,垃圾焚烧,固废处理 展开全部
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