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石家庄市万级微电子组装车间
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商品信息
石家庄市万级微电子组装车间的建设需严格遵循洁净室设计规范（如ISO 14644-1标准），通过科学的选材和系统化施工流程实现洁净度、温湿度、防静电等核心指标。以下是分阶段的专业说明：
一、核心材料体系
1. 围护结构系统
  • 金属复合板：采用50mm厚聚氨酯岩棉夹芯彩钢板（表面钢板厚度≥0.5mm），防火等级A级，接缝处预置三元乙丙密封胶条
  • 专用型材：阳极氧化铝型材（壁厚≥2.0mm），配备子母口咬合结构，确保气密性达0.01cfm/ft²@25Pa
2. 空气处理系统
  • 过滤单元：初效G4+中效F8+高效HEPA H13三级过滤（过滤效率99.99% @0.3μm）
  • FFU层流罩：配备EC风机，面风速0.45±0.1m/s，配备PLC集群控制系统
  • MAU新风机组：三级预冷除湿段（表冷器+转轮除湿），处理风量12000m³/h
3. 地面系统
  • 防静电环氧自流平：体积电阻1×10^6~1×10^9Ω，厚度3mm，含铜箔接地网格（间隔2m×2m）
  • 高架地板：全钢制结构（承载力≥1200kg/m²），配备可调支架系统，底部空间布线层高度300mm
4. 特种材料
  • 气密门：不锈钢304材质，门框集成充气密封条（工作压力0.3MPa）
  • 观察窗：双层钢化玻璃（5+12A+5mm），内置分子筛干燥剂
  • 洁净灯具：IP65防护等级，带导流罩的LED平板灯（照度≥500Lux）
二、系统化施工流程
阶段1：基础工程
  1. 结构验收：核查主体结构垂直度（≤3mm/3m）、水平度（±2mm/10m）
  2. 防微振处理：安装弹簧隔振器（固有频率≤3Hz），浇筑150mm厚混凝土惰性块
阶段2：围护结构施工
  1. 龙骨安装：采用三维可调龙骨系统，垂直度误差≤1‰
  2. 墙板安装：从核心区向外辐射式安装，接缝处注射聚氨酯密封胶（宽度≥6mm）
  3. 气密处理：所有穿墙孔洞采用双层硅胶密封（内层发泡胶填充，外层硅酮密封）
阶段3：空气系统集成
  1. 风管安装：采用双面镀锌螺旋风管（法兰连接处贴EPDM密封条）
  2. FFU矩阵调试：通过风速仪多点校准（网格间距1m），确保面风速均匀度≤15%
  3. 压差控制：安装微压差传感器（量程0-60Pa），梯度压差设定≥5Pa/区
阶段4：地面系统施工
  1. 导电底涂：采用铜系导电底漆（表面电阻≤10^5Ω）
  2. 铜箔铺设：形成2m×2m网格，接地电阻≤4Ω
  3. 环氧浇筑：分三次镘涂施工，环境温度需控制在20-25℃
阶段5：验证测试
  1. 洁净度测试：使用激光粒子计数器（0.3-5μm六通道），采样点按√N法布点
  2. 气流可视化：采用PAO发尘+DOP检测法，验证气流单向性
  3. 恢复测试：模拟开门扰动后，15分钟内恢复至ISO 7级
三、关键技术指标
参数 标准值 测试方法
悬浮粒子数 ≥0.5μm≤352000/m³ ISO 14644-1
温度控制 22±1℃ EN 12599
相对湿度 45±5%RH ASHRAE 55
噪声级 ≤65dB(A) ISO 3746
照度均匀度 ≥0.7 CIE 117-1995
该建设方案通过BIM技术实现全过程模拟，施工周期控制在180天内，能源消耗指标满足GB 50189-2015公共建筑节能设计标准。关键设备需通过EMC测试（EN 55032 Class B），确保电磁兼容性符合微电子生产要求。

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河北筑邦净化设备安装工程有限公司
会员类型： 星级
所在地区： 河北
企业认证： 认证商家
主营产品： 净化工程,净化厂房,净化车间,洁净手术室,洁净实验室,新风系统,通风工程,空气过滤袋 展开全部
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