光催化氧化工艺通常应用纳米半导体材料作为催化剂，利用紫外灯为光源来处理有机污染物，通过****氧化过程，将污染物氧化成为CO2、H2O及其它无毒无害成份。在半导体光催化氧化反应中，通过紫外光照射在纳米TiO2催化剂上，纳米TiO2催化剂吸收光能产生电子跃进和空穴跃进，经过进一步的结合产生电子空穴对，与废气表面吸附的H2O和O2反应生成氧化性很活泼的羟基自由基（•OH-）和超氧离子自由基（•O2-）。该工艺能够把多种有机废气如醛类、苯类、氨类、氮氧化物、硫化物以及其它VOCs有机物、无机物在光催化氧化的作用下还原成CO2、H2O以及其它无毒无害物质，使经过净化之后的废气分子被活化降解，臭味也同时消失，起到除臭的作用。同时管道内滋生的细菌病毒也可以有效的去除。
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