中图仪器白光轮廓仪品牌3d光学显微镜测量亚纳米级粗糙度轮廓度,其重建算法自动滤除样品表面噪点,在硬件系统的配合下,分辨率可达0.1nm。可对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
产品功能
1)中图仪器白光轮廓仪品牌设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能;
2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能;
3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能;
4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能;
5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能;
6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。
应用
在3C领域,可以测量蓝宝石屏、滤光片、表壳等表面粗糙度;
在LED行业,可以测量蓝宝石、碳化硅衬底表面粗糙度;
在光纤通信行业,可以测量光纤端面缺陷和粗糙度;
在集成电路行业,可以测量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度;
在EMES行业,可以测量台阶高度和表面粗糙度;
在*事领域,可以测量蓝宝石观察窗口表面粗糙度。
中图仪器白光轮廓仪品牌由于镜头视野较小,要想测量物体整个区域的表面情况,只能用自动拼接测量功能,但耗时较多,这时候可以用自动多区域测量功能,在样品表面抽取多个测量区域进行测量,从而对样品进行评估分析。测量方法很简单:
1.点击XY复位,使得镜头复位到载物台中心
2.将被测物放置在载物台夹具上,被测物中心大致和载物台中心重合;
3.确认电机连接状态和环境噪声状态满足测量条件;
4.使用操纵杆摇杆旋钮调节镜头高度,找到干涉条纹;
5.设置好扫描方式和扫描范围;
6.点击选项图标,确认自动找条纹上下限无误;
7.点击多区域测量图标,可选择方形和(椭)圆形两种测量区域形状;
8.根据被测物形状和尺寸,"形状”栏选择“椭圆平面”,X和Y方向按需设置;
9.点击弹出框右下角的“开始”图标,仪器即自动完成多个区域的对焦、找条纹、扫面等操作。
大尺寸样品拼接测量
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