德国KNF的N86KTE,N86KNE两种隔膜式真空泵广泛应用于CEMS系统上，国内80%以上CEMS均采用以上两种泵。N86KTE泵膜采用耐腐蚀泵膜，寿命更长。
另外德国SP公司SPV-700隔膜式真空泵也广泛用于CEMS系统上。
一、技术特点：
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