单晶炉在拉晶的过程中会产生大量微细颗粒物和真空泵抽真空时油烟混合一起产生的高浓度油烟废气。颗粒物含量见厂家提供TSP监测结果。
先用物理的方法除去油烟中的颗粒物质(固体物与液体物)-----初过滤和离心分离再用高压静电净化油烟，提高净化效率。离心分离后的液态油，进过固液分离可以回用，节省成本。进入静电净化段的油烟只含有极少的油和颗粒物，延长了静电电极的使用时间，清洗维护的成本相应降低。
废气处理系统采用初级预过滤+离心除油+静电除油烟相结合；
前置二层聚氨酯发泡过滤海绵网预过滤器，利用重力和碰撞原理，分离大颗粒油脂，均风散流。
采用机械除油技术，利用风机气体动力进行净化油烟。油烟废气中的颗粒物粉尘和油雾进入离心分离器，在离心分离器强大离心力作用下，废气中的密度较小的油烟沿着风叶向上排出，密度较大的颗粒物和油雾，被叶轮盘、叶片撞击，穿透多孔内壁被滤层吸收，大量微粒和油聚集后成油雾状由漏油管流出。
不锈钢电离器SUS304材料，使气体离子化，强电场使颗粒物带电，成为带电颗粒。
铝合金集成器，带电颗粒到达第二段集尘器后使粒子撞击至收集电板而立即被收集电极吸附，能有效收集大于0.1微米的颗粒。确保设备排出洁净合格气体。
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