1 响应时间快，热式MFC 500ms
2 热式MFC输出标况体积流量，其带有温度及压力补偿功能，同时由于其流量测量和调节阀模块之间有PID闭环控制，故流量的稳定性及精确度不受压力和温度影响。
3 实际气体标定，精度更高
4 MEMS（微机电技术）芯片，瑞士全自动化的标定工艺，免去人为因素带来的影响。长期稳定可靠性高，无零漂。
5 热式MFC无可移动部件、无安装方向要求、无直管段要求，便于使用及后期维护。
主要特点：
l 支持气体、液体同时配气以及混合配气；
l 流量控制采用闭环模糊控制技术，响应速度快，流量控制准确；
l 零气压力和钢瓶气压力可实时监测，保证供气压力满足仪器要求；
l 大屏幕液晶屏幕、中文显示，操作简单方便；
l 多路标气输入接口，免除更换多种钢瓶气的繁琐工作；
参数： 流量准确度 ±1%F.S 流量线性度 ±0.5%F.S 流量重复精度 ±0.2%F.S 稀释气体流量范围 0～20SLM；0～10SCCM； 0～500SCCM 可根据需求选择 稀释比 200:1 ****配比 400:1 输入压力 100Kpa～500Kpa 显示方式 800×480液晶7寸触摸屏 环境温度 5℃~+40℃ 环境湿度 <85%RH（无冷凝） 设备耐压 <1Mpa 工作压差范围 0.05Mpa～0.3Mpa 工作电源 220VAC, 50±0.5Hz
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